PAN原丝经过预氧化(200～350℃，射频负压软等离子法)、碳化(800～ 1200℃，微波加热法)到石墨化(2400~ 2600℃，射频加热法)，主要受到牵伸状态下的温度控制。在这一形成过程中达到纤维定型、碳元素富集，分子结构从聚丙烯腈高分子结构一乱层的石墨结构一三维有序的石墨结构。
国内有自主知识产权的“射频法碳纤维石墨化生工艺”开辟了碳纤维生产的创新之路，它采用射频负压软等离子法预氧化 PAN原丝，接着用微波加热法碳化，后用射频加热法石墨化形成小丝束碳纤维。

射频负压软等离子法预氧化
    PAN原丝预氧化是一个氧化、脱氢、脱氮和环化 的过程， 达到碳元素富集和纤维定型目的。由于等离子体的活性远比分子和中性原子大，在离子状态下能够实现氧化，所以在生产过程中把工频电能通过射频发生器转化成射频电磁场能量，再将石英容器的气体抽成负压，在射频电磁场的激发下， 使之电离形成等离子体。由于在常温下就能获得带电的氧离子，因此，  可以在远低于350℃的条件下完成高温状态下的化学过程。大动能离子对PAN的分子结构有破坏性需滤除，留下弱离子即软等离子，它们在有机物分子链空间的渗透能力非常强，可缓解“皮芯”现象。加工过程中还采用了射频极化法，能够里外同时进行化学反应，有效地减轻了氧化过程中的表里不一状况。 
预氧化纤维微波碳化
    用微波对预氧化纤维进行碳化是在电磁场中吸收电磁波的能量并转化为热量，电磁场的递质加热后过渡到富集碳原子，再直接对纤维加热。由于电磁波传播的方向与走丝方向相反，使得碳化过程从低温区移向高温区。另外，走丝速度很快，每束纤维都用1个走丝单元，这样，走丝速度和牵伸力就能分别控制，实现动态即时调节。电磁波对纤维有很强的穿透作用，电磁波能瞬时作用在纤维整个截面的表里，避免了所谓的“皮芯”现象． 
射频法小丝束碳纤维石墨化
    碳化碳纤维在牵伸状态下加热到2400~ 2600℃，碳体积分数达0.99以上，纤维的乱层结构变为三维有序的结构，模量大幅提高成为高模量碳纤维，此过程亦称石墨化。因射频的波长比微波长，采用射频感应加热法能够使电磁波对纤维有足够的作用时间，容易控制。经过射频法石墨化的碳纤维消除了“皮芯”结构具有热效率高、纤维的离散系数小等优点。