[VIP第7年] 指数:7
通过认证 [诚信档案]
基于MEMS工艺的热式质量流量技术；
重复性、复现性、稳定性强；
气体控制精度高，可快速响应；
大于1000:1的动态量程比；
在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；
结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；
模块化设计，为OEM客户量身定制。
这种质量流量计的量程可扩展到15,000 sccm。具有无与伦比的动态量程和超紧凑尺寸的特点。
技术优势
·无与伦比的动态量程
·出色的可重复性
·超紧凑的尺寸
·专为OEM客户设计
| 参数 | 单位 |
典型值 |
| 流量范围 |
sccm |
0-15,000 |
| 外形尺寸 |
mm |
50×52×22（质量流量控制器OEM模块） |
| 流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取较大值 |
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| Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取较大值 |
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| Resolution |
% F.S. |
0.1 |
| Remarks | 如您需要更为详细的资料，敬请查阅产品相关的技术规格书 | |
