基于MEMS工艺的热式质量流量技术；

重复性、复现性、稳定性强；

气体控制精度高，可快速响应；

大于1000:1的动态量程比；

在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；

结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；

模块化设计，为OEM客户量身定制。

　　紧凑的质量流量计配有RS-485全双工通讯接口，基于Axetris的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统）它提供了以下的优势

　　·紧凑的外形尺寸

　　·快速的稳定时间

　　·极佳的重复性和精度

　　·坚固的设计

　　·高量程比

　　·极佳的长期稳定性

　　它被推荐用于独立的应用和集成在工业，分析和医疗系统上的应用