Axetris可供使用的质量流量集管标准平台，在单个基板上安装有多达4个质量流量控制器或者流量计。集管具有混合器或者分离器配置，从而可以根据客户要求，校准每一个通道。该产品是混合或者分离气体流的紧凑即用型解决方案，具有高精确度和再现性。
 

产品特性：

 

· 基于MEMS工艺的热式质量流量技术；

· 重复性、复现性、稳定性强；

· 气体控制精度高，可快速响应；

· 大于1000:1的动态量程比；

· 在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；

· 结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；

· 模块化设计，为OEM客户量身定制。

Axetris拥有完整的，经验丰富的流体动力学工程师团队，先进的仿真模拟装备，以及先进的测试和检测实验室，为客户提供全方位解决方案、技术支持和系统整合。为OEM客户需求量身定制特定条件应用的质量流量产品：真实气体校准，一系列可配置选项，可选数字滤波参数，可选电气和机械接口。

标®准产品系列：需完整产品目录，请联系Axetris !

 

每个Axetris MFM/MFC2000产品都提供全量程的标定和温度补偿，标定遵从NIST溯源。
 

广泛的气体种类和量程范围：

MFM/MFC2000产品可以适用非常广泛的多种非腐蚀气体，气体量程可以从小于20sccm到20000sccm(标准立方厘米每分钟)。通过旁路设计，还可获得更大的量程范围。

 

标准型产品:

MFM 21x0: 标准型质量流量计，是MFM2020加装电气保护外壳的扩展产品。

标准型质量流量计，是MFM2020加装电气保护外壳的扩展产品。

MFM 2120: RS232/ 0…5 Volt, MFM 2130: RS232/ 4…20 mA,MFM 2140: RS485.

MFC 21x2: 标准型质量流量控制器，集成了快速反应的调节阀。相较于传统的质量流量控制器，具有更小的体积，更高的精度，更短的整定时间，以及多量程，多种气体的控制能力。

如下为不同型号所支持的数字/模拟接口选项：

MFC 2122: RS232/ 0…5 Volt, MFC 2132: RS 232/ 4…20 mA,

MFC 2142: RS485, MFC 2162: PROFINET®

 

用于系统集成的OEM模块：

 

MFM 2020: 带有数字交互界面和0-5V模拟输出的紧凑型质量流量计。它的小巧的尺寸让其成为受限于空间限制的产品设计的理想选择。此外它也是用来建立定制化和多种气体通道测量的理想模块。

 

MFM 2021: 此先进的气体质量流量计附带有高精密PID控制，配备模拟信号输出，使其对气体流量进行直接、高速和精准得到测量成为可能。

 

MFC 2022: 带有快速反应调节阀和具有驱动电路的紧凑型质量流量控制器。它是高度紧凑型气体控制系统的理想选择。