质量流量控制器MFC Plus – 新产品_检测设备_【环保检测专用设备】_玻璃钢加工设备_供应信息

基于MEMS工艺的热式质量流量技术；

重复性、复现性、稳定性强；

气体控制精度高，可快速响应；

大于1000:1的动态量程比；

在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；

结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；

模块化设计，为OEM客户量身定制。

参数	单位	典型值
流量范围	sccm	0-15,000
外形尺寸	mm	50×52×22（质量流量控制器OEM模块）
流量精度	±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取较大值
Repeatability	±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取较大值
Resolution	% F.S.	0.1
Remarks	如您需要更为详细的资料，敬请查阅产品相关的技术规格书

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