质量流量控制器MFC 2252

基于MEMS工艺的热式质量流量技术；

重复性、复现性、稳定性强；

气体控制精度高，可快速响应；

大于1000:1的动态量程比；

在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；

结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；

模块化设计，为OEM客户量身定制。

　　紧凑的质量流量控制器配有RS-485通讯接口，基于Axetris的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统）它提供了以下的优势。

　　·超紧凑的外形尺寸

　　·快速的稳定时间<150 ms

　　·极佳的重复性和精度

　　·坚固的设计

　　·高量程比<1000:1

　　·极佳的长期稳定性

　　它被推荐用于独立的应用和集成在工业，分析和医疗系统上的应用。

参数	单位	典型值
流量范围	sccm	20,50,100,250,1000,3000
目标气体	N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
流量精度0-10%	% F.S	0.2（250sccm,N2,4bara）
流量精度10-100%	% O.R	1（250sccm,N2,4bara）
稳定时间	ms	< 150
供电电压	V	24
数字量输入输出	RS-485 全双工