质量流量计MFM Plus – 新产品

基于MEMS工艺的热式质量流量技术；

重复性、复现性、稳定性强；

气体控制精度高，可快速响应；

大于1000:1的动态量程比；

在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；

结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；

模块化设计，为OEM客户量身定制。

　　这种质量流量计的量程可扩展到15,000 sccm。具有无与伦比的动态量程和超紧凑尺寸的特点。

　　技术优势

　　·无与伦比的动态量程

　　·出色的可重复性

　　·超紧凑的尺寸

　　·专为OEM客户设计

参数	单位	典型值
流量范围	sccm	0-15,000
外形尺寸	mm	50×52×22（质量流量控制器OEM模块）
流量精度	±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取较大值
Repeatability	±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取较大值
Resolution	% F.S.	0.1
Remarks	如您需要更为详细的资料，敬请查阅产品相关的技术规格书