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质量流量控制器MFC 2152

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品牌: 莱丹塑料
单价: 面议
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发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-09-22 08:00
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公司基本资料信息
详细说明

  紧凑的质量流量控制器配有RS-485通讯接口,基于Axetris专利的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统)它提供了以下的优势。

  ·超紧凑的外形尺寸

  ·快速的稳定时间<150 ms

  ·极佳的重复性和精度

  ·坚固的设计

  ·高量程比<1000:1

  ·极佳的长期稳定性

  它被推荐用于独立的应用和集成在工业,分析和医疗系统上的应用。

基于MEMS工艺的热式质量流量技术;

重复性、复现性、稳定性强;

气体控制精度高,可快速响应;

大于1000:1的动态量程比;

在很大的测量范围内,也能保持良好的线性度;

结构紧凑,帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量;


参数 单位
典型值
流量范围
sccm
20,50,100,250,1000,3000
目标气体 N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
流量精度0-10% % F.S
0.2(250sccm,N2,4bara)
流量精度10-100% % O.R
1(250sccm,N2,4bara)
稳定时间

ms

150

供电电压 V
24
数字量输入输出
RS-485 全双工
模块化设计,为OEM客户量身定制。


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